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波前传感器(PHASICS)

<p>◇ 高分辨率-160x120 相位图 ◇ 消色差-400-1100nm范围均可使用 ◇ 自参考-对外界振动不敏感 ◇ 结构紧凑 ; ◇ 适应性强-直接测量发散或准直光束;</p>
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产品描述
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波前传感器-PHASICS


自适应光学系统在高功率激光中具有重要作用,可以改善光束聚焦,提高应用端的峰值功率密度。Phasics的SID4系列波前传感器结合客户选择的变形镜系统,提供了最精细的相位校正能力,可基于多年的自适应光学经验为客户提供最佳反馈和控制方案。


产品特点

◇ 高分辨率-160x120 相位图

◇ 消色差-400-1100nm范围均可使用

◇ 自参考-对外界振动不敏感 

◇ 结构紧凑    

◇ 适应性强-直接测量发散或准直光束

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SID4的范围从UV到IR

型号详见下表:

图片1.png


光谱范围

有效孔径(mm²)

空间分辨率

采样相位点

相位精度

相位分辨率

真空度

SID4 UV

250-400nm

7.4x7.4

29.6µm

250x250

10nmRMS

2nmRMS

-

SID4 UV HR

190-400nm

13.84x10.89

38.88µm

355x280

10nmRMS

1nmRMS

-

SID4 V

400-1100nm

4.73x3.55

29.6µm

160x120

10nmRMS

<2nmRMS

>10-6mbar

SID4

400-1100nm

5.02x3.75

27.6µm

182x136

10nmRMS

<2nmRMS

-

SID4 HR

400-1100nm

9.98x8.64

24µm

416x360

20nmRMS

<2nmRMS

-

SID4 UHR

400-1100nm

15.16x15.16

29.6µm

512x512

-

<2nmRMS

-

SWIR

0.9-1.7µm

9.6x7.68

120μm

80x64

15nmRMS

<2nmRMS

-

SWIR HR

0.9-1.7µm

9.6x7.68

60µm

160x128

15nmRMS

<2nmRMS

-

eSWIR

0.9-2.35µm

9.6x7.68

120µm

80x64

<40nmRMS*

<6nmRMS*

-

DWIR

3-5µm
&8-14µm

10.08x8.16

68µm

160x120

75nmRMS

25nmRMS

-

LWIR

8-14 µm

16 x 12

100 µm

160 x 120

75 nm RMS

25 nm RMS



Phasics 的SID4 波前传感器可以兼容任何类型的变形镜系统,在拍瓦激光系统中,搭配法国ISP 公司的机械式变形镜系统,为客户提供性价比最高的波前测量和控制方案。

除了校正激光系统中的像差等波前扭曲之外,SID4还可以放置在聚焦元件(比如离轴抛物面镜)的后面,如偏离轴的抛物面镜,以实现最佳聚焦。该传感器还可以控制变形镜的姿态,从而控制聚焦点的三维位置。


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对于研究激光与气体相互作用以产生电子或次级辐射源的研究人员来说,SID4不仅提供了与变形镜系统匹配的最佳聚焦点,还可以准确诊断离子化条件下气体静态和动态密度,从而更好地理解激光-气体相互作用过程,并分析电子或次级辐射源的相应特性。以下图片来自LBNL的Bella实验室和法国LOA超强激光设施。


典型应用:

◇ 精确光束相位诊断

◇ 气体和等离子体密度测量

◇ 自适应光学系统

◇ 在线光学质量检测

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型号
参数
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SID4 UV
作为最低可至波长250 nm的高分辨率波前传感器,SID4 UV非常适合于紫外光学测量,包括用于光刻或半导体应用紫外激光表征,以及透镜和晶圆的表面面型检测。
SID4 UV HR
可在190 nm至400 nm的紫外波段提供无与伦比的高相位分辨率(355 x 280取样分辨率)和极高的相位灵敏度(优于1 nm RMS)。 因此,SID4 UV HR非常适合用于光刻,半导体等领域的光学组件表征和表面面型检测(透镜和晶圆等)。
SID4 V
该款真空兼容设备可便于使用者在实际实验条件下实现波前的原位测量,可表征脉宽压缩装置中的短脉冲激光束,并测量高能激光靶点附近的气体与等离子体密度。 SID4 V还可以用于环境测试期间的波前测量。
SID4
2 nm RMS;高相位灵敏度;400 - 1100 nm工作波长范围内自消色差,瞬时相位测量;
SID4 HR
超高相位分辨率(416 x 360)和高动态范围(500 µm PV)
SID4 UHR
非常适用于表面面型的检查(表面粗糙度、高频率波前像差及表面缺陷检测等)和光学组件的表征(镜头、物镜、非球面和自由曲面光学等)。 SID4-UHR可提供高达512 x 512(可选最高至666 x 666)相位取样分辨率
SID4 SWIR
高取样分辨率(80 x 64相位取样点);高灵敏度;可提供从900 nm到1.7μm波段的精准波前测量
SID4 SWIR HR
超高取样分辨率(160 x 128相位取样点)和高灵敏度,它提供了从900 nm到1.7 μm波段的高精度波前测量。
SID4 eSWIR
市面上唯一覆盖0.9至2.35 µm扩展短波红外波段的高分辨率波前传感器。
SID4 DWIR
市面唯一一款同时覆盖3 - 5 µm中红外和8 - 14 µm远红外的双波段红外高分辨率波前传感器。
SID4 LWIR
8μm至14μm长波红外波段实现高分辨率波前测量